Laserscanner von Micro-Epsilon erfassen, messen und bewerten Profile berührungslos auf unterschiedlichsten Objektoberflächen. Die neuen Modelle der Reihe scanCONTROL decken ab sofort größere Messbereiche ab. Sie sind mit den Messbereichen 430 x 390 mm und 600 x 600 mm erhältlich und erschließen dadurch zahlreiche neue Anwendungsfelder. Die Laserscanner sind in unterschiedlichen Ausführungen mit rotem Laser verfügbar.

Mit den Laser-Profilsensoren scanCONTROL lassen sich nun kleinste Details präzise erfassen, aber auch große Objekte bei gleichzeitig großem Grundabstand zuverlässig vermessen.

Alle Laserscanner können einfach in individuelle Softwareumgebungen integriert werden, entweder durch Nutzung der zur Verfügung stehenden SDKs oder über den GigE Vision Standard, dem alle scanCONTROL Sensoren entsprechen. Die scanCONTROL SMART Sensoren verfügen über integrierte Controller, in denen Messwerte ohne externen PC direkt im Sensor bewertet und ausgegeben werden.

Laser-Profil-Scanner von Micro-Epsilon zählen zu den leistungsstärksten Profilsensoren hinsichtlich Genauigkeit und Messrate. Die Leistungsfähigkeit der scanCONTROL 3000 Serie wurde nun nochmal erhöht: die Datenerfassung- und ausgabe steigt auf bis zu 10 Mio. Messpunkte / Sek, bei den Smartsensoren wird die Profilberechnung und Auswertegeschwindigkeit um 60% erhöht.

Die SMART Scanner von Micro-Epsilon verfügen nun über eine der schnellsten Profilauswertungen weltweit. Die Geschwindigkeitserhöhung wird dabei für alle aktuellen scanCONTROL Smart Modelle mit Update auf scanCONTROL Configuration Tools 6.8 wirksam. Smarte Sensoren der scanCONTROL 30xx erreichen eine Steigerung der Auswertegeschwindigkeit um bis zu 60 Prozent.

Die neue Firmware V54 für die scanCONTROL 30xx Serie erhöht zusätzlich die Punkterate auf bis zu 10 Millionen Messpunkte pro Sekunde gegenüber bisher 7,5 Millionen – dies ergibt rund 33 Prozent Geschwindigkeitserhöhung, unabhängig davon, ob es sich um einen SMART oder einen COMPACT Sensor handelt.

Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf höchste Präzision an. Ein wichtiger Prozessschritt ist das Läppen der Siliziumrohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Dicke fortlaufend zu kontrollieren, wurden die Weißlichtinterferometer der Reihe interferoMETER IMS5420 entwickelt.

Diese bestehen jeweils aus einem kompakten Sensor und einem Controller, der in einem robusten industrietauglichen Gehäuse untergebracht ist. Eine im Controller integrierte aktive Temperaturregelung sorgt für eine hohe Stabilität der Messung.

Erhältlich ist das Interferometer entweder als Dicken- oder als Multipeak-Dickenmesssystem. Das Multipeak-Dickenmesssystem kann die Dicke von bis zu fünf Schichten messen, z.B. Waferdicke, Luftspalt, Folierung und Beschichtungen >50 µm. Für Dickenmessungen bei schwierigen Umweltbedingungen ist der Controller IMS5420IP67 mit IP67 und Edelstahlgehäuse sowie passenden Lichtleitern und Sensoren verfügbar.

Für Messaufgaben im Vakuum bietet Micro-Epsilon geeignete Sensoren, Kabel und Durchführungen an.

Der colorSENSOR CFO250 ist eine ideale Ergänzung im Controller-Portfolio der Micro-Epsilon Farbsensoren. Der colorSENSOR CFO100 mit einer Messrate von 10 kHz und der colorSENSOR CFO200 mit einer Messrate von 30 kHz legen den Fokus auf die Darstellung des präzisen Ergebnisses der Farben und geben die Messwerte mit nur wenigen Hz aus. Der neue colorSENSOR CFO250 bietet ebenfalls mit einer Messrate von 30 kHz nun eine deutlich schnellere Messdatenausgabe mit bis zu 500 Hz und dies bei ansonsten unveränderten Eigenschaften.

Dabei werden eingelernte Farben mit dem aktuellen Messwert verglichen, controller-intern bewertet (OK/NOK) und mit bis zu 30 kHz Schaltfrequenz ausgeben. Rohdaten können in Lab- oder XYZ-Farbräumen mit bis zu 500 Hz über UDP, RS232 oder die USB-Schnittstelle bereitgestellt werden. Über ein vereinfachtes, binäres 3-Byte Protokoll werden die Daten direkt an die SPS weitergeleitet und können dort weiterverarbeitet werden.

Die Messdatenausgabe kann kontinuierlich oder auf Bedarf erfolgen. Entsprechende Flanken- oder Pegeltrigger steuern zudem wie lange bzw. wie viele Messwerte ausgegeben werden.

Der colorSENSOR CFO250 in Kombination mit unserem breiten Spektrum an Sensorköpfen eignet sich vor allem für schnelle Prozesse, z.B. die Überwachung von Mischprozessen wie Granulaten und Pulver oder bei der Qualitätsprüfung in Abfüllanlagen.

Der Laser-Distanz-Sensor optoNCDT ILR1171-125 ist für den Außeneinsatz konzipiert. Er misst 20x schneller als das Vorgängermodell. Durch das Laser-Laufzeitprinzip mit Infrarotlicht und einer Messrate von bis zu 40 kHz werden hohe Energieimpulse erreicht, wodurch sich stabile Messungen mit sehr guter Signalqualität erzielen lassen. Auch bei schlechten Sichtverhältnissen mit Nebel und Regen bietet der Sensor damit eine hohe Genauigkeit. Die Fremdlichtbeständigkeit beträgt 50.000 Lux.

Ein robustes Aluminiumgehäuse nach IP67 schützt den Sensor, der zudem in einem Temperaturbereich von -40 bis +60 °C zuverlässige Ergebnisse liefert. Die äußerst kleine Bauform ermöglicht eine Anbringung auch bei wenig Platz.

Einsatzgebiete sind Distanzmessungen unter anderem zur Bauwerksüberwachung, von Kränen und Windkraftanlagen. Der Messbereich beträgt 125 m, eine Erweiterung auf 270 m ist mittels Reflektor möglich.

Klein, leistungsstark und schnell zeigen sich die Lasersensoren optoNCDT 1420, die für Advanced Automation Anwendungen auf ein neues Level gehoben wurden. Die Messraten sind mit bis zu 8 kHz verdoppelt worden, was sie zu den schnellsten Sensoren ihrer Klasse macht. Sie bieten höchste Leistung in jeder Umgebung und zeichnen sich durch eine Temperaturstabilität von ±0,015 % d.M. / K und eine Fremdlichtbeständigkeit von bis zu 50.000 Lux aus.

Die Einsatzmöglichkeiten der neuen Lasersensoren sind vielfältig. Sie messen auf nahezu allen Oberflächen und arbeiten mit intelligenter Belichtungsregelung, die Hell-Dunkel- und Matt-Glänzend-Wechsel schnell und zuverlässig kompensiert. Dank kleinem Lichtfleck lassen sich auch kleinste Details hochgenau erfassen. Das robuste Aluminiumgehäuse mit Schutzart IP67 schützt den Sensor vor äußeren Einflüssen und sorgt für Vibrationsbeständigkeit. Darüber hinaus sind die Sensoren mit integriertem Controller und schleppkettentauglichen Kabeln ausgestattet. Dazu kommt ihr geringes Gewicht und die kleine Bauweise. Diese Kombination zeichnet sie unter anderem für Robotikanwendungen aus.

Die Handhabung ist für Einsteiger wie auch Experten gleichermaßen einfach. Die Möglichkeiten reichen von analog bis digital, von der Plug&Play Lösung über Webinterface bis hin zu ASCII Programmierbefehlen.

Neben dem leistungsstarken Redesign sind nun auch alle Messbereiche von 10 mm bis 500 mm standardmäßig für jede Leistungsklasse der optoNCDT Lasersensoren erhältlich.

Laserscanner von Micro-Epsilon erfassen, messen und bewerten Profile berührungslos auf unterschiedlichsten Objektoberflächen. Die neuen Modelle der Reihe scanCONTROL decken ab sofort größere Messbereiche ab. Sie sind mit den Messbereichen 430 x 390 mm und 600 x 600 mm erhältlich und erschließen dadurch zahlreiche neue Anwendungsfelder. Die Laserscanner sind in unterschiedlichen Ausführungen mit rotem Laser verfügbar.

Mit den Laser-Profilsensoren scanCONTROL lassen sich nun kleinste Details präzise erfassen, aber auch große Objekte bei gleichzeitig großem Grundabstand zuverlässig vermessen.

Alle Laserscanner können einfach in individuelle Softwareumgebungen integriert werden, entweder durch Nutzung der zur Verfügung stehenden SDKs oder über den GigE Vision Standard, dem alle scanCONTROL Sensoren entsprechen. Die scanCONTROL SMART Sensoren verfügen über integrierte Controller, in denen Messwerte ohne externen PC direkt im Sensor bewertet und ausgegeben werden.

Laser-Profil-Scanner von Micro-Epsilon zählen zu den leistungsstärksten Profilsensoren hinsichtlich Genauigkeit und Messrate. Die Leistungsfähigkeit der scanCONTROL 3000 Serie wurde nun nochmal erhöht: die Datenerfassung- und ausgabe steigt auf bis zu 10 Mio. Messpunkte / Sek, bei den Smartsensoren wird die Profilberechnung und Auswertegeschwindigkeit um 60% erhöht.

Die SMART Scanner von Micro-Epsilon verfügen nun über eine der schnellsten Profilauswertungen weltweit. Die Geschwindigkeitserhöhung wird dabei für alle aktuellen scanCONTROL Smart Modelle mit Update auf scanCONTROL Configuration Tools 6.8 wirksam. Smarte Sensoren der scanCONTROL 30xx erreichen eine Steigerung der Auswertegeschwindigkeit um bis zu 60 Prozent.

Die neue Firmware V54 für die scanCONTROL 30xx Serie erhöht zusätzlich die Punkterate auf bis zu 10 Millionen Messpunkte pro Sekunde gegenüber bisher 7,5 Millionen – dies ergibt rund 33 Prozent Geschwindigkeitserhöhung, unabhängig davon, ob es sich um einen SMART oder einen COMPACT Sensor handelt.

Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf höchste Präzision an. Ein wichtiger Prozessschritt ist das Läppen der Siliziumrohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Dicke fortlaufend zu kontrollieren, wurden die Weißlichtinterferometer der Reihe interferoMETER IMS5420 entwickelt.

Diese bestehen jeweils aus einem kompakten Sensor und einem Controller, der in einem robusten industrietauglichen Gehäuse untergebracht ist. Eine im Controller integrierte aktive Temperaturregelung sorgt für eine hohe Stabilität der Messung.

Erhältlich ist das Interferometer entweder als Dicken- oder als Multipeak-Dickenmesssystem. Das Multipeak-Dickenmesssystem kann die Dicke von bis zu fünf Schichten messen, z.B. Waferdicke, Luftspalt, Folierung und Beschichtungen >50 µm. Für Dickenmessungen bei schwierigen Umweltbedingungen ist der Controller IMS5420IP67 mit IP67 und Edelstahlgehäuse sowie passenden Lichtleitern und Sensoren verfügbar.

Für Messaufgaben im Vakuum bietet Micro-Epsilon geeignete Sensoren, Kabel und Durchführungen an.