Als Partner der Halbleiter-Equipment-Industrie sowie von Test-Anbietern und -Anwendern bietet Jenoptik eine neuartige optische Lösung zur Integration in elektrische Prüfkarten an. Die Ultra-fast opto-electronic Probe Card oder auch UFO ProbeTM Card wird zum funktionalen Prüfen von Halbleiterchips mit integrierten optischen Funktionen, sogenannten photonic integrated circuits (PICs), verwendet und ist an Kundenforderungen anpassbar.

Mit der neuen UFO ProbeTM-Technologie bedient Jenoptik den Markt für Halbleiterausrüstungen und Verfahren zum Wafer-Level-Test in der Mikroelektronik. Basis für die Technologie bildet ein Konzept zur optischen Abtastung von photonisch-integrierten Schaltkreisen, welches unempfindlich gegenüber Ausrichttoleranzen des Wafer-Probers funktioniert. Die opto-elektronische Prüfkarte kann dadurch mit handelsüblichen Wafer-Probern verwendet werden und sichert einen entsprechend hohen Durchsatz beim Testen von photonisch-integrierten Schaltkreisen.


Die neuartige hybride Probecard vereint elektrische und optische Prüfungen in einer Lösung. Dadurch können mehrere, beliebig angeordnete optische und elektrische Kanäle eines PIC oder sogar mehrere PICs parallel getestet und damit der Bedarf an opto-elektronischen Tests für hochvolumige Applikationen abgedeckt werden. Die Auslegung der Probecard ist auf die speziellen Kundenanforderungen wie beispielsweise individuelles PIC-Layout und spezifische Testanordnung anpassbar. Der erste Serienlauf wurde erfolgreich mit dieser neuen Technologie gemessen.

Jenoptik kooperiert mit Probecard-Herstellern, um das optische Modul in entsprechend etablierte und erprobte Nadeltechnologien zu integrieren. Die erste Plattformvariante der UFO ProbeTM ist im Europakartenformat mit Cantilever-Nadeln verfügbar und kann optional an unterschiedliche Applikationen angepasst werden. Kunden profitieren damit von einer zügigen Entwicklung mit kundenspezifischen Merkmalen.

Über Jenoptik und die Division Light & Optics

Als global agierender Technologie-Konzern ist Jenoptik in vier Divisionen aktiv. Optische Technologien sind die Basis unseres Geschäfts: Mit dem überwiegenden Teil unseres Produkt- und Leistungsspektrums sind wir in der Photonik tätig. Zu unseren Schlüsselmärkten zählen vor allem die Halbleiterausrüstung, Medizintechnik, Automotive und Maschinenbau, Verkehr, Luftfahrt sowie die Sicherheits- und Wehrtechnik. Jenoptik ist an der Frankfurter Wertpapierbörse notiert, beschäftigt mehr als 4.100 Mitarbeiter und erzielte 2019 einen Umsatz von ca. 855 Millionen Euro.

Die Division Light & Optics ist ein weltweit aktiver OEM-Anbieter von Lösungen und Produkten, die auf photonischen Technologien basieren. Jenoptik bietet ein breites Leistungsspektrum und vereint dabei umfassendes Fachwissen aus Optik, Lasertechnik, digitaler Bildverarbeitung, Optoelektronik und Software aus mehr als 25 Jahren Erfahrung. Zu ihren Kunden gehören führende Anlagen- und Maschinenbauer sowie Gerätehersteller in Bereichen wie Halbleiterausrüstungen, Lasermaterialbearbeitung, Medizintechnik und Life Science, Industrieautomation, Automotive & Mobility sowie Sicherheit und wissenschaftliche Institute.

Als Entwicklungs- und Produktionspartner bündelt Jenoptik in der Division Light & Optics entscheidende Schlüsseltechnologien, hebt dadurch markt- und kundenspezifische Systeme auf eine neue Stufe und deckt so den wachsenden Bedarf an höher integrierten Photonik-Lösungen. Die dabei eingesetzten Systeme, Module und Komponenten helfen unseren Kunden, ihre zukünftigen Herausforderungen mit Hilfe photonischer Technologien optimal zu meistern.

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