SMC zeigt dort Automatisierungskomponenten für zentrale Prozesse der Halbleiter- und Elektronikfertigung. Das Spektrum reicht vom schonenden Werkstückhandling über die Kontrolle von Druck und Durchfluss bis zur Mediensteuerung und elektrostatischen Entladung.

Elektrostatische Ladungen sicher neutralisieren

Einen Schwerpunkt bilden die neuen Ionisierer IZS51, IZT44/45 und IZSW. Sie reduzieren elektrostatische Ladungen, die Bauteile beschädigen, Partikel anziehen oder Prozesse beim Transport und Verpacken beeinträchtigen können. Der kompakte IZS51 erreicht eine Entladezeit von bis zu 0,1 Sekunden, unterstützt IO-Link und verfügt über ein großes Display zur Zustandsüberwachung. Eine integrierte Ventileinheit stoppt die unterstützende Druckluft im Betrieb und kann so den Druckluftverbrauch senken.

Für besonders enge Einbauräume sind die schlanken Ionisierstäbe IZT44 und IZT45 ausgelegt. Mit 23 Millimetern Höhe und 20 Millimetern Breite lassen sie sich auch in sehr engen Bauräumen montieren. Die eng angeordneten Elektroden verkürzen die Entladezeit gegenüber dem Vorgängermodell um rund 60 Prozent. Eine wirksame Entladung ist ohne zusätzliche Druckluft möglich. Beim IZT45 können bis zu vier Hochspannungsmodule an einen Controller angeschlossen werden.

Empfindliche Werkstücke berührungsarm handhaben

Beim sensiblen Handling dünner Substrate und elektronischer Baugruppen demonstriert SMC unter anderem den Bernoulli Greifer ZNC. Er nimmt Folien, Leiterplatten und andere empfindliche Werkstücke berührungsarm auf. Gegenüber dem bisherigen Modell reduziert die Konstruktion den Luftverbrauch im Verhältnis zur Hubkraft um bis zu 79 Prozent. Die maximale Hubkraft beträgt 65 Newton. Ergänzt wird das Vakuumportfolio durch die Filter der Serie ZFC, die Saugerfamilien ZP2 und ZP3 mit leitfähigem oder halbleitendem Silikon sowie NBR, den kompakten Vakuumerzeuger ZH und die Ventilinsel JSY1000-E mit der Möglichkeit zum Mix-Mounting.

Prozesse überwachen und Medien zuverlässig steuern

Auch die Überwachung bestehender Anlagen steht im Fokus. Der Durchflusssensor PFUW wird außen an der Rohrleitung montiert. Dadurch sind weder Eingriffe in die Verrohrung noch medienberührende Sensorteile erforderlich. Leckagerisiken, zusätzlicher Druckverlust und mögliche Verunreinigungen der Leitung werden vermieden. Messbereiche bis 200 Liter pro Minute erlauben den Einsatz in Kühlwasser- und Versorgungskreisläufen.

Die digitalen Druckschalter ISE20 und ZSE20 sind am Messestand in Varianten mit M12 Anschluss zu sehen. Sie bieten eine dreizeilige Anzeige, kurze Ansprechzeiten und, je nach Ausführung, IO-Link Kommunikation sowie Schutzart IP65. Mit dem analogen Signalgeber D-MH1 lassen sich bis zu drei Positionen eines Greifers oder Antriebs mit nur einem Schalter unterscheiden. Kleine Positionsabweichungen und beginnender Werkzeugverschleiß können damit frühzeitig erkannt werden. Ergänzt wird die Sensorik durch D-MPG, PFES und NMG.

Für die Maschinenkommunikation zeigt SMC das kompakte Funksystem EXW1. Es unterstützt je nach Ausführung EtherCAT, EtherNet/IP, PROFINET in Kombination mit IO-Link, analog Eingang oder Digital-I/O. Gerade an bewegten Modulen kann die drahtlose Übertragung den Verkabelungsaufwand reduzieren und störanfällige Leitungsverbindungen vermeiden. Weitere Exponate sind der elektrische Antrieb EQ für dynamische Bewegungsaufgaben.

Lösungen für Anlagenbauer und Halbleiterhersteller

Mit dem Messeauftritt richtet sich SMC an Hersteller von Halbleitern, Photovoltaikzellen und elektronischen Baugruppen ebenso wie an Maschinenbauer, Systemintegratoren sowie Betreiber von Frontend, Backend und Advanced Packaging Anlagen. Die gezeigten Komponenten setzen an konkreten Prozessrisiken an: elektrostatische Ladung, Partikeleintrag, instabile Medienversorgung, hoher Druckluftbedarf und begrenzter Bauraum.